Universität Innsbruck
Innsbruck
Kurzbeschreibung
Flexible Plasmaätzmaschine für nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen
Ansprechperson
Prof. Gerhard Kirchmair
Research Services
nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen
Die Forschungsinfrastruktur ist "Open for Collaboration". Kommerzielle Kooperationen sind nicht möglich.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Flexible Plasmaätzmaschine für nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen
Die Bedingungen für die Nutzung durch externe Parteien ist möglich.
Nutzungsbedingungen werden im Rahmen einer wissenschaftlichen Kooperation definiert. Keine kommerzielle Nutzung möglich. Bei Interesse an einer Kooperation oder Zusammenarbeit bitten wir Sie um Kontaktaufnahme.
Nutzungsbedingungen werden im Rahmen einer wissenschaftlichen Kooperation definiert. Keine kommerzielle Nutzung möglich. Bei Interesse an einer Kooperation oder Zusammenarbeit bitten wir Sie um Kontaktaufnahme.