Plasmaätzer SI 500 ICP

Universität Innsbruck

Innsbruck

Großgerät

Kurzbeschreibung

Flexible Plasmaätzmaschine für nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen

Ansprechperson

Prof. Gerhard Kirchmair

Research Services

nanoskopische elektronischer und optischer Schaltungen

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Flexible Plasmaätzmaschine für nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen

Prof. Gerhard Kirchmair
Institut für Experimentalphysik
gerhard.kirchmair@uibk.ac.at
Die Bedingungen für die Nutzung durch externe Parteien werden im Moment gerade diskutiert und festgelegt.