Plasmaätzer SI 500 ICP

Universität Innsbruck

Innsbruck

Großgerät

Kurzbeschreibung

Flexible Plasmaätzmaschine für nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen

Ansprechperson

Prof. Gerhard Kirchmair

Research Services

nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen
Die Forschungsinfrastruktur ist "Open for Collaboration". Kommerzielle Kooperationen sind nicht möglich.

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Flexible Plasmaätzmaschine für nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen

Prof. Gerhard Kirchmair
Institut für Experimentalphysik
gerhard.kirchmair@uibk.ac.at
Die Bedingungen für die Nutzung durch externe Parteien ist möglich.
Nutzungsbedingungen werden im Rahmen einer wissenschaftlichen Kooperation definiert. Keine kommerzielle Nutzung möglich. Bei Interesse an einer Kooperation oder Zusammenarbeit bitten wir Sie um Kontaktaufnahme.