Thermal Scan Gerät

Technische Universität Wien (TU Wien)

Wien

Großgerät

Kurzbeschreibung

Eigenspannungsmessung von Schichten mit Hilfe der Biegebalkenmethode. Bis zu 900 °C in Schutzgas.

Ansprechperson

Univ.Prof. Dipl.-Ing. Dr.mont. Paul Heinz Mayrhofer

Research Services

Bestimmung des Ausdehnungskoeffizienten und der thermisch generierten Eigenspannungen bei unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten zwischen Substrat und Schicht.

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Charakterisierung der biaxialien Eigenspannungen in einer Schicht sowie der thermisch induzierten Spannungen aufgrund unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten zwischen Schicht und Substrat. Die Charakterisierung erfolgt mit Hilfe der Biegebalkenmethode und kann bis ca. 900 °C durchgeführt werden (in inerter Atmosphäre).

Univ.Prof. Dipl.-Ing. Dr.mont. Paul Heinz Mayrhofer
Forschungsbereich Werkstoffwissenschaft
+43 (1) 58801 30811
paul.mayrhofer@tuwien.ac.at
https://wwwt.tuwien.ac.at/forschung/werkstoffwissenschaften/
https://tiss.tuwien.ac.at/person/105914.html

Univ.Prof. Dipl.-Phys. Dr.rer.nat. Ulrich Schmid
Mikrosystemtechnik (MST)
ulrich.e366.schmid@tuwien.ac.at
http://tiss.tuwien.ac.at/person/65158
http://tiss.tuwien.ac.at/person/65158
Im Rahmen von Kleinprojekten oder Großprojekten nach Kontaktaufnahme mit Prof. Paul Mayrhofer oder Prof. Ulrich Schmid.
Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme (Univ.Prof. Dr. Ulrich SCHMID, Mikrosystemtechnik)