Laser MBE-Anlage

Technische Universität Wien (TU Wien)

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Großgerät

Kurzbeschreibung

Das Gerät erlaubt es, auf atomarer Ebene geordnete Oxid-Schichten herzustellen. Neben der Herstellung von reinen Oxiden ist auch die Herstellung von Mischoxiden, wie etwa Perowskiten möglich. Die hergestellten Proben können im angeschlossenen Oberflächen-Analysesystem detailliert charakterisiert werden.

Ansprechperson

Univ. Prof. Dr. Ulrike Diebold

Research Services

This setup combines a ultrahigh vacuum (UHV) surface analysis system with surface preparation facilities with a state-of-the-art pulsed laser deposition (PLD) system with epitaxial control. All sample transfer and preparation is contained in UHV with a base pressure of low 10-10 mbar.

This 4-chamber system allows the judicious growth and surface characterization single-crystalline, complex oxides with atomic control. Typical sample size: 5x5 mm2.

1) Surface preparation:
Load-lock with fast-sample entry. Sample manipulator with electron beam heater, ion source for sputtering, evaporators for physical vapour deposition, and a quartz crystal microbalance for thin-film measurements.

2) Surface characterisation:
XPS, ISS, LEED, variable temperature STM

3) PLD growth:
Pulsed Excimer laser, multiple-target carousal, fast-entry load-lock, hi-pressure RHEED system, movable quartz crystal microbalance, sample heating with diode laser, pyrometer for temperature measurement, gas inlet system with flow controllers, automated control for deposition/temperature/gas ramps.

4) Transfer chamber connecting the PLD and surface characterization chamber
Storage of multiple samples.

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Das System ergänzt die Forschung über Oxidoberflächen um die Möglichkeit, derartige Oberflächen in höchster Qualität zu präparieren.

Univ. Prof. Dr. Ulrike Diebold
Institut für Angewante Physik
0043-1-58801-13425
diebold@iap.tuwien.ac.at
http://www.iap.tuwien.ac.at/www/surface/index
Nur im Rahmen von wissenschaftlichen Kooperationsprojekten
Institut für Materialchemie der TU Wien