Forschungsinfrastruktur

Technische Universität Wien (TU Wien)

Wien

Kurzbeschreibung

Eigenspannungsmessung von Schichten mit Hilfe der Biegebalkenmethode. Bis zu 900 °C in Schutzgas.

Ansprechperson

Univ.Prof. Dipl.-Ing. Dr.mont. Paul Heinz Mayrhofer

Research Services

Bestimmung des Ausdehnungskoeffizienten und der thermisch generierten Eigenspannungen bei unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten zwischen Substrat und Schicht.

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Charakterisierung der biaxialien Eigenspannungen in einer Schicht sowie der thermisch induzierten Spannungen aufgrund unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten zwischen Schicht und Substrat. Die Charakterisierung erfolgt mit Hilfe der Biegebalkenmethode und kann bis ca. 900 °C durchgeführt werden (in inerter Atmosphäre).