Elektronenstrahl-Lithographie

Universität Graz

Graz

Großgerät

Kurzbeschreibung

Elektronenstrahl-Lithographiesystem RAITH eLine plus

Ansprechperson

Joachim Krenn

Research Services

Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Fertigung von Nanostrukturen mit kleinsten Strukturgrößen von ca. 10 nm. Forschungsschwerpunkt auf optische und elektronische Eigenschaften von Nanostrukturen.

Joachim Krenn
Naturwissenschaftliche Fakultät, Insitut für Physik
03163805207
joachim.krenn@uni-graz.at
Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.