Universität Graz
Graz
Großgerät
Kurzbeschreibung
Elektronenstrahl-Lithographiesystem RAITH eLine plus
Ansprechperson
Joachim Krenn
Research Services
Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Fertigung von Nanostrukturen mit kleinsten Strukturgrößen von ca. 10 nm. Forschungsschwerpunkt auf optische und elektronische Eigenschaften von Nanostrukturen.
Joachim Krenn
Naturwissenschaftliche Fakultät, Insitut für Physik
03163805207
joachim.krenn@uni-graz.at
Naturwissenschaftliche Fakultät, Insitut für Physik
03163805207
joachim.krenn@uni-graz.at
Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.