Universität Graz
Graz
Kurzbeschreibung
Elektronenstrahl-Lithographiesystem RAITH eLine plus
Ansprechperson
Joachim Krenn
Research Services
Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Fertigung von Nanostrukturen mit kleinsten Strukturgrößen von ca. 10 nm. Forschungsschwerpunkt auf optische und elektronische Eigenschaften von Nanostrukturen.
Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.