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Großgerät

Elektronenstrahl-Lithographie

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Universität Graz

Graz


Kurzbeschreibung

Elektronenstrahl-Lithographiesystem RAITH eLine plus

Ansprechperson

Joachim Krenn

Research Services

Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Fertigung von Nanostrukturen mit kleinsten Strukturgrößen von ca. 10 nm. Forschungsschwerpunkt auf optische und elektronische Eigenschaften von Nanostrukturen.

Nutzungsbedingungen

Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.

Kontakt

Joachim Krenn
Naturwissenschaftliche Fakultät, Insitut für Physik
03163805207
joachim.krenn@uni-graz.at

Standort

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