Plasmaätzer SI 500 ICP

University of Innsbruck

Innsbruck

Large equipment

Short Description

Flexible Plasmaätzmaschine für nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen

Contact Person

Prof. Gerhard Kirchmair

Research Services

nanoskopische elektronischer und optischer Schaltungen

Methods & Expertise for Research Infrastructure

Flexible Plasmaätzmaschine für nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen

Prof. Gerhard Kirchmair
Institut für Experimentalphysik
gerhard.kirchmair@uibk.ac.at
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