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University of Vienna
Es handelt sich dabei um Vorpumpen (Scroll-Pumpen der Fa. Leybold), Turbopumpen (Magnetgelagerte, Edwards; Turbomolekularpumpen Fa....
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Es handelt sich um 3 VUV Laser bei 157 nm mit 3 mJ und 200...
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Der Laser liefert 18 Watt grünes Licht im Dauerstrichbetrieb bei einer Linienbreite von 5 MHz....
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