Kurzbeschreibung
Ionenmikroskopsäule als Zusatz zum Zeiss AURIGA Rasterelektronenmikroskop, kann zur lokalen Materialbearbeitung mittels fokussierter Ga Ionen auf der Nanometerskala eingesetzt werden, für die lokale 3D Mikrostrukturanalyse, TEM Probenpräparation, oder Mikro- und Nanoprobenfertigung.
Ansprechperson
Univ. Prof. Dr. Daniel Kiener
Research Services
Herstellung von miniaturisierten mechanischen Proben
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Ionenmikroskopsäule als Zusatz zum Zeiss AURIGA Rasterelektronenmikroskop, kann zur lokalen Materialbearbeitung auf der Nanometerskala eingesetzt werden, für die lokale 3D Mikrostrukturanalyse, TEM Probenpräparation, oder Mikro- und Nanoprobenfertigung.
Das Gerät wird für die Grundlagenforschung am Institut verwendet. Wenn freie Kapazitäten verfügbar sind, werden auch Auftragsarbeiten durchgeführt.