Femtosekundenlaser mit Rasterelektronenmikroskop

Österreichische Akademie der Wissenschaften (ÖAW)

Leoben | Website

Großgerät

Kurzbeschreibung

Der Femtosekundenlaser wird für die lokale Materialbearbeitung eingesetzt. Damit können lokale 3D Strukturanalysen oder mikromechanische Proben bis in den Mikrometerbereich hergestellt werden. Der Femtosekundenlaser ist an ein Rasterelektronenmikroskop gekoppelt. Damit kann die Präparation und Strukturanalyse an einem einzigen Gerät durchgeführt werden.

Ansprechperson

Daniel Kiener

Research Services

Research Services nach Vereinbarung.

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Femtosekundenlaserbeareitung ermöglicht einen extrem schonenden Materialabtrag. Die Materialbeeinflussung sollte sich auf Nanometertiefe beschränken. Die Materialschädigung sollte kleiner oder vergleichbar mit der üblichen Ionenbearbeitung sein. Zum Vergleich mit einer FIB ist jedoch der Materialabtrag um mehrere Zehnerpotenzen höher. Verwendet wird der Femtosekundenlaser am Institut für Mikroprobenfertigung und für die Grobbearbeitung für die genaue FIB-Präparation.

Daniel Kiener
Erich Schmid Institut
03842/804-412
daniel.kiener@unileoben.ac.at
http://esi.oeaw.ac.at
Das Gerät wird fast ausschließlich für institutsinterne Arbeiten verwendet.
Lehrstuhl für Materialphysik der Montanuniversität Leoben