Laser MBE-Anlage

Technische Universität Wien (TU Wien)

Wien | Website

Großgerät

Kurzbeschreibung

Das Gerät erlaubt es, auf atomarer Ebene geordnete Oxid-Schichten herzustellen. Neben der Herstellung von reinen Oxiden ist auch die Herstellung von Mischoxiden, wie etwa Perowskiten möglich. Die hergestellten Proben können im angeschlossenen Oberflächen-Analysesystem detailliert charakterisiert werden.

Ansprechperson

Univ. Prof. Dr. Ulrike Diebold

Research Services

The MBE (molecular beam epitaxy) machine is an ultrahigh vacuum system based on a setup acquired from Specs (hence, also named Specs machine) with a preparation chamber optimized for growth of thin films. Besides a sample manipulator with electron beam heater, ion source for sputtering, evaporators, and a quartz crystal microbalance, the preparation chamber also houses an oxygen plasma source. The analysis chamber is equipped with XPS, LEED and a variable-temperature STM.

In 2014, the machine has been extended with a laser-MBE system, where oxides can be grown by pulsed laser deposition with in-situ control of the growth mode by RHEED (reflection high-energy electron diffraction). Growing complex oxides layer by layer with well-defined structure and stoichiometry is a challenging task, but we have been already successful with it!

As you can imagine when looking at the image, it is currently the largest UHV machine of our group…

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Das System ergänzt die Forschung über Oxidoberflächen um die Möglichkeit, derartige Oberflächen in höchster Qualität zu präparieren.

Univ. Prof. Dr. Ulrike Diebold
Institut für Angewante Physik
0043-1-58801-13425
diebold@iap.tuwien.ac.at
http://www.iap.tuwien.ac.at/www/surface/index
Nur im Rahmen von wissenschaftlichen Kooperationsprojekten
Institut für Materialchemie der TU Wien