Mikro- & Nanotechnologie Lab

AIT Austrian Institute of Technology GmbH

Wien | Website

Core Facilities (CF)

Kurzbeschreibung

Das moderne Mikro & Nano Technology Lab ermöglicht die Simulation, Fabrikation und Charakterisierung von mikro- & nanotechnologischen Strukturen und Bauelementen. Unsere besondere Expertise beruht auf der Kombination von Halbleitertechnologie und Dünnfilmprozessen mit innovativen Konzepten der Mikro-, Nano- und Biowissenschaften.

Ansprechperson

Dr. Giorgio C. Mutinati

Research Services

· Abscheidung von Einzel- oder Mehrfachschichten
· Herstellung von transparenten leitfähigen Schichten
· Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen
· Materialdruck auf flexible und nicht-flexible Substrate
· Tintenformulierung für gedruckte Biosensorik
· Nanopartikelsynthese
· Sensoren - Entwicklung und Prototyping (Magnetische Sensoren (GMR, TMR), Integriert-optische Wellenleiter und Sensoren, Elektrochemische Sensoren)

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

MIKRO- & NANO-FABRIKATION

1)Materialdrucker:
Druckbare Materialien: Metalle, organische Leiterbahnen, biofunktionalisierende Tinten, etc.
Substrate: Polymere und Metalle (Folien und Bulk), Glas, Keramik, etc.

2) Magnetron Sputtering:
Präzise Abscheidungskontrolle für Schichtdicken von 5nm bis 1000nm
Mehr als 30 verschiedene Materialien verfügbar: Metalle, Halbleiter, Nichtleiter Multitarget-System: für Multilayer mit bis zu 11 unterschiedlichen Materialien

3) Aufdampfen:
Mehr als 10 unterschiedliche Materialien verfügbar: Metalle und Nichtleiter
Elektrochemische Abscheidung von Metallen und Halbleitern

4) Optische Lithographie
5) Elektronenstrahllithographie
6) Atomkraftlithographie
7) Argon-Ionenätzen
8) Nasschemisches Ätzen
9) Sauerstoffplasmaveraschung
10) Mikrofräsen

MIKRO- & NANO-CHARAKTERISIERUNG

1) Rastersonden-Mikroskopie und -Spektroskopie (SPM)
Atom- (AFM), Chemische (CFM), Magnet- (MFM) Kraftmikroskopie
Abbildung auch in Flüssigkeiten

2) Rasterelektronenmikroskop (REM/SEM)
Rastertransmissionselektronenmikroskop (STEM)
Rückstreuelektronendetektor (BSE)

3) Profilometer
4) 4-Spitzenmessplatz
5) Elektrische Messungen bis zu 20 GHz
6) Magnetoresistive Charakterisierung
7) Elektrochemische Potentiostate
8) Elektrochemische Impedanzspektroskopie
9) Messplatz für integrierte optische Wellenleiter, UV-VIS-NIR-MIR Spektrometer, Monochromator
10) Kontaktwinkelmessgerät
11) Viskosimeter

Equipment der Core Facility

Dr. Giorgio C. Mutinati
Center for Health & Bioresources
+43 50550 4302
giorgio.mutinati@ait.ac.at
http://www.ait.ac.at/nano
Die Nutzung ist jeweils zu vereinbaren.