Kurzbeschreibung
Die Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES) ist eine Methode zur Oberflächenanalyse, welche sich den Auger Effekt zu Nutze macht. Analysiert werden die von der Probe emittierten Elektronen, welche nach der initialen Anregung eine Serie innerer Relaxationen erfahren.
Das 710 Auger Nanoprobe kombiniert ein hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (SEM) (< 5 nm) mit einem hochauflösenden Augerelektronenspektrometer (< 10 nm). Die Kombination dieser Techniken ermöglicht das Erstellen von Elementverteilungen an der Oberfläche von Materialien im Nanometerbereich, welche mit SEM-Bildern verglichen werden können. Dadurch können kleinste Strukturen, wie zum Beispiel in Form von Defekten, erkannt und chemisch analysiert werden.
Das am AIC verfügbare AES erlaubt außerdem Materialschnitte mit der FIB (Fokussierter Ionen Strahl) und Elementanalyse mittels EDS (Energiedispersive Spektroskopie). Eine Vielzahl an Proben kann hinsichtlich der Zusammensetzung von Dünnschichten und Grenzflächen analysiert werden, zusätzlich sind Informationen über den Bindungszustand von z.B. Metallen und Legierungen erhältlich.
Das 710 Auger Nanoprobe konnte in 2022 aus FFG Mitteln zur Forschungs- und Entwicklungs-Infrastrukturförderung im Rahmen des ELSA Projektes in Zusammenarbeit mit dem Kompetenzzentrum für elektrochemische Oberflächentechnologie (CEST) angeschafft werden.
Ansprechperson
Annette Foelske
Research Services
Das Analytical Instrumentation Center (AIC) der Technischen Universität Wien bietet die Durchführung von Oberflächenanalysen und die Erstellung von Tiefenprofilen mittels Elektronenspektroskopie an. Der Service wird vorzugsweise für Angehörige der TU Wien angeboten. Im Rahmen von Kooperationen innerhalb von Forschungsprojekten werden auch Messungen/Auswertungen für Institutionen außerhalb der TU Wien angeboten. In beschränktem Umfang können auch Aufträge von Dritten angenommen werden.
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
• Untersuchung von Oberflächenzusammensetzung
• Tiefenprofilanalyse mit der FIB (Fokussierter Ionen Strahl)
• Elementanalyse mittels EDS (Energiedispersive Spektroskopie)
• Analyse einer Vielzahl an Proben hinsichtlich der Zusammensetzung von Dünnschichten und Grenzflächen
• Gewinnung von Informationen über den Bindungszustand von z.B. Metallen und Legierungen
CEST-Kompetenzzentrums für elektrochemische Oberflächentechnologie
TU Wien