REM Zeiss 1540XB-Cross und Doppelanlage (FIBREM)

JKU - Johannes Kepler Universität Linz

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Kurzbeschreibung

REM Zeiss 1540 XB-Cross, FeldemREM. Die Auflösungsgrenze dieser Geräte reicht in den Nanometerbereich. Das
Rasterelektronenmikroskop mit Focused Ion Beam Zusatz ZEISS 1540XB (FIBREM) ist ein zentral im Zentrum für Oberflächen- und Nanoanalytik (ZONA) angesiedeltes Beobachtungs- und Analysegerät.

Ansprechperson

DI Dr. Heiko Groiss

Research Services

Analyse der von einem Objekt emittierten Elektronenstrahlung, um eine ungleich bessere Auflösung als durch die Lichtmikroskopie zu erhalten. Rasterelektronenmikroskopische Abbildungen zeichnen sich besonders durch eine große Schärfentiefe und den plastischen Bildeindruck aus, der durch kein anderes Abbildungsverfahren erreicht werden kann. Der Einsatz des REM erstreckt sich von Abbildungen der Oberfläche der Proben bis hin zu Erfassung deren chemischer Zusammensetzung.

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Analyse der von einem Objekt emittierten Elektronenstrahlung, um eine ungleich bessere Auflösung als durch die Lichtmikroskopie zu erhalten. Rasterelektronenmikroskopische Abbildungen zeichnen sich besonders durch eine große Schärfentiefe und den plastischen Bildeindruck aus, der durch kein anderes Abbildungsverfahren erreicht werden kann. Der Einsatz des REM erstreckt sich von Abbildungen der Oberfläche der Proben bis hin zu Erfassung deren chemischer Zusammensetzung.

Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur

ZONA - Zentrum für Oberflächen- und Nanoana­lytik