Kurzbeschreibung
Das FUSIONScopeTM von Quantum Design erlaubt korrelierte AFM- und vollwertige REM-Messungen in einem einzigen System durchzuführen. Die dazugehörige Software überlagert selbstständig die Messergebnisse beider Systeme, wodurch potentiell riskante und langwierige Probentransfers zwischen getrennten Messsystemen entfallen. Darüber hinaus beschleunigt die Kombination aus REM und AFM die Lokalisierung zu untersuchender Bereiche ohne Marker und ermöglicht die Analyse schwer zugänglicher Probenstellen.
Ansprechperson
Harald Plank
Research Services
Der Fokus des Zentrums für Elektronenmikroskopie (ZFE) liegt auf der kooperativen Forschung mit Universitätsinstituten, außeruniversitäre Forschungseinrichtungen und der Industrie mit einem Schwerpunkt auf KMUs.
• Oberflächencharakterisierung mittels Rasterelektronen-, Rasterionen- und Rasterkraft-Mikroskopie
• Analytische Oberflächencharakterisierung mittels Röntgenspektroskopie und Schwingungsspektroskopie (FT-Infrarot- / Raman-Spektroskopie und -Mikroskopie)
• Nanoanalytik mittels hochauflösender Transmissionselektronenmikroskopie in Kombination mit Elektronenenergieverlustspektroskopie, energiedispersive Röntgenspektroskopie, Dunkelfeldimaging und Tomographie bis zur atomaren Auflösung
• Mikroskopische Kristallstrukturanalyse mittels Elektronenbeugung in Rasterelektronen- und / oder Transmissionselektronenmikroskopie
• Korrelative in situ Mikroskopie / Spektroskopie mittels verschiedener Methoden um den Einfluss von chemischen, thermischen, elektrischen, magnetischen oder mechanischen Veränderungen zu erfassen und zu verstehen
• Entwicklung von funktionellen Nanostrukturen (3D-Nanofabrikation) mit fokussierten Elektronen- und / oder Ionenstrahlen
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Das Institut ZFE zählt zu den führenden europäischen Forschungslabors auf dem Gebiet der korrelativen Mikroskopie mit verschiedenen mikroskopischen und spektroskopischen Methoden. Das Projekt FUSION, welches eng mit der hier beschriebenen Infrastruktur (FUSIONScope) verbunden ist, liegt im Instituts-Forschungsschwerpunkt „in situ Methods“, welche durch die Arbeitsgruppe von Prof. Harald Plank (Fokussierte Elektronen- & Ionenstrahlprozessierung und Rasterkraftmikroskopie) koordiniert wird. Die Anwendung der Möglichkeiten sind für Partner aus der Industrie als auch für Universitäten von hoher Relevanz, da insbesondere die Methodik der korrelierten Materialcharakterisierung stark vorangetrieben wird. Diese spannt einen breiten Bogen von technologischen Neuentwicklungen über die technische Integration bis hin zu Validierung und der Einbindung in das Qualitätsmanagement des Zentrums für Elektronenmikroskopie (EN ISO 9001:2105), um für alle Kunden und Projektpartner höchste Qualitätsstandards zu gewährleisten.
Durch die Integration von REM und AFM können sich die Vorteile beider Methoden optimal ergänzen, die Lokalisierung und Analyse schwer zugänglicher Bereiche mit dem AFM wird durch das REM beschleunigt beziehungsweise erst ermöglicht. Durch das am Institut erarbeitet Know-How im Bereich der Fabrikation von AFM Messspitzen können vielfältige Aufgabenstellungen bedient werden. Diese reichen von der Analyse magnetischer Materialien und Strukturen über die Untersuchung elektrischer Eigenschaften bis hin zu nanomechanischen Analysen.