Aufdampfanlage für Metalle und Halbleiter

JKU - Johannes Kepler Universität Linz

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Großgerät

Kurzbeschreibung

Aufdampfanlage Pfeiffer Vacuum Austria
Dünnschichtabscheidung von Metallen und Halbleitern im Hochvakuum aus thermischen Verdampferquellen
Hauptanwendung: Kontaktmetallisierung und elektrische Leiterbahnen auf Halbleiterbauelementen

Ansprechperson

Univ.-Prof. Dr. Friedrich Schäffler

Research Services

Dünnschichtabscheidung von Metallen und Halbleitern im Hochvakuum aus thermischen Verdampferquellen
Hauptanwendung: Kontaktmetallisierung und elektrische Leiterbahnen auf Halbleiterbauelementen

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Themat. Schwerpunkt: Halbleitertechnologie

Univ.-Prof. Dr. Friedrich Schäffler
Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik, Abteilung für Halbleiterphysik
+43 732 2468 9606
friedrich.schaeffler@jku.at
http://www.jku.at/hfp/
Für Details kontaktieren Sie bitte die verantwortliche Person.
IST Austria (Gugging)