Reinraum im LIT Open Innovation Center

JKU - Johannes Kepler Universität Linz

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Räumliche Forschungsinfrastruktur

Kurzbeschreibung

Neuer Reinraum im LIT Open Innovation Center

Ansprechperson

Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli

Research Services

Abscheidung von Dünnschichten (Metalle, Dielektrika), optische Lithographie, Elektronenstrahlithographie...

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Lithographie, Ätzen, Materialabscheidung, Hybride Integration

Zuordnung zur Core Facility

Center for Nanoscale Semiconductors

Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli
Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik, Abteilung für Halbleiterphysik
+43 732 2468 9601
armando.rastelli@jku.at
http://www.jku.at/hfp/
Für Details kontaktieren Sie bitte die verantwortliche Person.
TU Wien, Univ. Innsbruck, FH Vorarlberg, ISTA