Kurzbeschreibung
Plasmaanlage für kombinierte Prozesse: Dünnfilm-Beschichtung (Sputtern von Metallen und Dielektrika), Ätzen (Reactive Ion Etching), und Plasmapolymerisation.
Ansprechperson
Assoz.- Prof. Dr. Wolfgang Hilber
Research Services
Dünnschichttechnologie, Dickschichttechnologie, funktionale Materialien, Sensoren und Aktuatoren
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Realisierung miniaturisierter Sensoren und Aktoren auf Basis von Dünnschichttechnologie.
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
nach Rücksprache mit dem Forschungsinstitut IME an der JKU