Kurzbeschreibung
Der Cleanroom II (Teil der SAL MicroFab in Villach) ist für 200-mm-Wafer ausgelegt und kann bis zu 25 Wafer in einer einzigen Charge verarbeiten. Zu den Hauptzielen der SAL MicroFab gehören die Erleichterung des schnellen Prototyping, die Produktion von Kleinserien und die nahtlose Übertragung von Prozessen in den industriellen Maßstab.
Ansprechperson
Heimo Müller
Research Services
Leistungen entlang der gesamten EBS-Wertschöpfungskette
Forschung – Prototyping – Kleinserien
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Fokus:
ISO 4 / 1100 m² Reinraum
Leistungen entlang der gesamten EBS-Wertschöpfungskette
Forschung – Prototyping – Kleinserien
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