Halbautomatischer Waferprober

Technische Universität Wien (TU Wien)

Wien

Großgerät

Kurzbeschreibung

Rauscharmer, geschirmter, halbautomatischer Waferprober, Temperaturbereich -60C bis 200C

Ansprechperson

Dr. Michael Watltl

Research Services

Zuverlässigkeitsmessungen mikroelektronischer Bauelemente

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Langzeitzuverlässigkeitsmessungen