Technische Universität Wien (TU Wien)
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Kurzbeschreibung
The CRX-4.5K is a closed cycle helium probe station for the characterization of semiconductor devices directly at wafer level. The system provides a remarkable temperature range from 3.7K up to 675K.
Ansprechperson
Dr. Michael Waltl
Research Services
Tieftemperaturmessungen an mikroelektronischen Bauelementen
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Defektspektroskopie in Halbeiterbauelementen, CV Messungen, DLTS, pulses MOS, OCVD etc.
Nach Vereinbarung