Universität Salzburg
Salzburg | Website
Kurzbeschreibung
Die Cluster-Sputteranlage dient zur Abscheidung von funktionalen Dünnschichten unter hochreinen Bedingungen. Die Apparatur besteht aus einer Schleusenkammer, einer Kammer zur Abscheidung von Metallschichten bzw. von transparenten leitenden Oxidschichten, einer Kammer zur Abscheidung von Sulfid-Schichten und einer Prozesssteuereinheit.
Ansprechperson
Prof. Dr. Oliver Diwald
Research Services
Herstellung dünner Schichten mittels Sputterprozessen
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Mit der Cluster-Sputteranlage werden reine und zusammengesetzte Nanostrukturen aus Metallen und Halbleitermaterialien erzeugt. In Form von dünnen Schichten werden diese Strukturen für photokatalytische und photovoltaische Anwendungsbereiche entwickelt. Ein weiteres Augenmerk ist das Design und die mit dieser Methode durchgeführte Herstellung von Absorbermaterialien für Licht.
Zuordnung zur Core Facility
Chemmetall
01.02.2017 - 31.01.2020
Intergranulare Bereiche in nanokristallinen Keramiken
Projektleiter: Oliver DIWALD
FWF P 28211 Einzelprojekt „Elektronenzentren in Wasserstoff-dotierten Halbleiteroxiden“
01.08.2015-31.07.2018
Projektleiter: Thomas BERGER
DFG Forschergruppe “Functional Molecular Structures on Complex Oxide Surfaces, FOR 1878)
Teilprojekt “Oxidische Nanostrukturen“
01.04.2017 - 31.03.2020
Sulfosalze in der Energiewandlung
2007-2016
Dittrich H.
Christian-Doppler Gesellschaft
2012
Topa D., Makovicky E., Llinca G., Dittrich H.
CANADIAN MINERALOGIST Vol.: 70 Pages: 773
DOI: 10.3749/canmin.50.3.773