SPUTTERANLAGE CLUSTEX 100 M

Universität Salzburg

Salzburg | Website

Großgerät

Kurzbeschreibung

Die Cluster-Sputteranlage dient zur Abscheidung von funktionalen Dünnschichten unter hochreinen Bedingungen. Die Apparatur besteht aus einer Schleusenkammer, einer Kammer zur Abscheidung von Metallschichten bzw. von transparenten leitenden Oxidschichten, einer Kammer zur Abscheidung von Sulfid-Schichten und einer Prozesssteuereinheit.

Ansprechperson

Prof. Dr. Oliver Diwald

Research Services

Herstellung dünner Schichten mittels Sputterprozessen

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Mit der Cluster-Sputteranlage werden reine und zusammengesetzte Nanostrukturen aus Metallen und Halbleitermaterialien erzeugt. In Form von dünnen Schichten werden diese Strukturen für photokatalytische und photovoltaische Anwendungsbereiche entwickelt. Ein weiteres Augenmerk ist das Design und die mit dieser Methode durchgeführte Herstellung von Absorbermaterialien für Licht.

Zuordnung zur Core Facility

Funktionsmaterialien

Prof. Dr. Oliver Diwald
Fachbereich Chemie und Physik der Materialien
+43-662-8044-6224
oliver.diwald@sbg.ac.at
http://www.uni-salzburg.at/index.php?id=203199&MP=44700-200607%2C200731-200747%2C203199-44793
Bitte um Kontaktaufnahme mit der Universität Salzburg (science_plus@sbg.ac.at) oder mit der/dem FI-Verantwortlichen.
Fachbereich Geographie und Geologie, Universität Salzburg
Chemmetall
FWF P 28797 Intergranulare Bereiche in Nanokristallinen Oxiden.
01.02.2017 - 31.01.2020
Intergranulare Bereiche in nanokristallinen Keramiken
Projektleiter: Oliver DIWALD

FWF P 28211 Einzelprojekt „Elektronenzentren in Wasserstoff-dotierten Halbleiteroxiden“
01.08.2015-31.07.2018
Projektleiter: Thomas BERGER

DFG Forschergruppe “Functional Molecular Structures on Complex Oxide Surfaces, FOR 1878)
Teilprojekt “Oxidische Nanostrukturen“
01.04.2017 - 31.03.2020

Sulfosalze in der Energiewandlung
2007-2016
Dittrich H.
Christian-Doppler Gesellschaft
Cupromakopavonite, Cu8Ag3Pb4Bi19S38, A new mineral species, ist crystal structure and the cupropavonite homologous series
2012
Topa D., Makovicky E., Llinca G., Dittrich H.
CANADIAN MINERALOGIST Vol.: 70 Pages: 773
DOI: 10.3749/canmin.50.3.773