Rasterelektronenmikroskop Zeiss Supra 55 VP

Universität Wien

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Großgerät

Kurzbeschreibung

Das Elektronenmikroskop Zeiss Supra 55 VP ist ein vielseitiges Gerät zur Charakterisierung der Struktur und Zusammensetzung von Materialien auf der Nanometerebene. Die 4 verfügbaren bildgebenden Detektoren (3 sensitiv für Sekundärelektronen, 1 für rückgestreute Elektronen) arbeiten zum Teil in Vakuum, zum Teil auch bei geringem Druck.

Weiters ist es mit 3 Detektoren der Firma Oxford Instruments ausgestattet. Die EDX und WDX Detektoren dienen der Elementanalyse der Proben. Das Gerät besitzt einen speziellen Hochstrommodus um bei WDX Messungen den notwendigen hohen Probenstrom liefern zu können.

Auch der EBSD Detektor, der die Untersuchung der kristallograpischen Orientierung erlaubt, ist fix in das System integriert.

Der letzte Anwendungsbereich ist die Lithographie: Mit dem ELPHY System der Firma Raith und einem speziellen Mikropositioniertisch ist es möglich große Flächen nahtlos mit einer Positioniergenauigkeit von 100 nm zu belichten.

Ansprechperson

Stephan Puchegger

Research Services

Die Forschungsdienstleistungen des Fakultätszentrums für Nanostrukturfoschung richten sich in erster Linie an die Fakultäten für Physik und Chemie der Universität Wien. Die Möglichkeit der Nutzung durch andere InteressentInnen ist bei der Kontaktperson zu erfragen. Das Fakultätszentrum behält es sich vor, bei einer externen Nutzung ein Entgelt einzuheben.

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Charakterisierung der Struktur und Zusammensetzung von Materialien auf der Nanometerebene

Stephan Puchegger
Fakultätszentrum für Nanostrukturforschung
T: +43-1-4277-73802
stephan.puchegger@univie.ac.at
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Generelle Nutzungsbedingungen: http://nanozentrum.univie.ac.at/home/nutzungsregeln/

Die Forschungsdienstleistungen des Fakultätszentrums für Nanostrukturfoschung richten sich in erster Linie an die Fakultäten für Physik und Chemie der Universität Wien. Die Möglichkeit der Nutzung durch andere InteressentInnen ist bei der Kontaktperson zu erfragen. Das Fakultätszentrum behält es sich vor, bei einer externen Nutzung ein Entgelt einzuheben.
Fakultät für Physik der Universität Wien
Fakultät für Chemie der Universität Wien