Kurzbeschreibung
Reinheitsgrad: max. 35.200 Partikel pro Kubikmeter, Größe ≥ 0,5 µm und max. 8.320 Partikel, Größe ≥ 1 µm pro Kubikmeter und max. 293 Partikel ≥ 5 µm
• Luftwechsel Primärluft: 12faches Raumvolumen / h
• Luftumwälzung über FFUs: 40 – 60faches Raumvolumen / h
• Temperatur (+/- 1K): 23 °C
• Feuchte (+/-5%): rf%: 50 %
Ansprechperson
MATERIALS - DI Dr. Paul Hartmann
Research Services
Mikro-Nanostrukturen, Mastering, Analytik, Machbarkeitsstudien, Mikroelektronik Versuchsreihen bis 6 Zoll
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Modernste Ausstattung und Forschungsinfrastruktur kombiniert mit der Expertise von hoch qualifizierten wissenschaftlichen Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter ermöglichen zukunftsweisende Forschungsarbeiten, Problemlösungen und wissenschaftliche Dienstleistungen, die auf die Anforderungen der Wirtschaft und Industrie abgestimmt sind. Beispielsweise werden folgende Methoden angeboten:
• Nanoimprint-Lithografie im Batchprozess (bis 4 x 4 inch²) unter Reinraumbedingungen (UV-NIL und Hot-Embossing NIL)
• Elektronenstrahl-Lithografie
• Photo-Lithografie
• Reaktives Ionenätzen (RIE) O2/Ar/N2/SF6/CFu
• Oberflächenmodifikation mittel O2/N2/H2O/NH3-Plasma, UV /Ozon-Behandlung oder Primer-Beschichtung
• Modulare Pilotanlage inkl. Glovebox-Cluster
• Oberflächenmorphologie mittels Rasterelektronenmikrospkopie (SEM) oder Rasterkraftmikroskopie (AFM) inkl. EFM-, KPFM- und MFM-Methodik