JKU - Johannes Kepler Universität Linz
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Kurzbeschreibung
Neuer Reinraum im LIT Open Innovation Center
Ansprechperson
Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli
Research Services
Abscheidung von Dünnschichten (Metalle, Dielektrika), optische Lithographie, Elektronenstrahlithographie...
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Lithographie, Ätzen, Materialabscheidung, Hybride Integration
Zuordnung zur Core Facility
Für Details kontaktieren Sie bitte die verantwortliche Person.
TU Wien, Univ. Innsbruck, FH Vorarlberg, ISTA