Universität Innsbruck
Innsbruck
Großgerät
Kurzbeschreibung
Vakuum-Pumpsystem, Sputteranlage Edwards FL400 - Auto 306
Experimentelle Anlage zur Herstellung von Dünnschichten (Variation von Substrat und Aufdampfbedingungen)
Ansprechperson
Univ.-Prof. DI Dr.techn. Roman Lackner
Research Services
Nach Rücksprache mit der zuständigen Kontaktperson
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Experimentelle Anlage zur Herstellung von Dünnschichten (Variation von Substrat und Aufdampfbedingungen)
Zuordnung zur Core Facility
Univ.-Prof. DI Dr.techn. Roman Lackner
Institut für Konstruktion und Materialwissenschaften
+43 512 507 63500
Roman.Lackner@uibk.ac.at
Institut für Konstruktion und Materialwissenschaften
+43 512 507 63500
Roman.Lackner@uibk.ac.at
Nach Vereinbarung mit der zuständigen Kontaktperson