Beschichtungsanlage/Vakuum-Pumpsystem - NanoLab Innsbruck

Universität Innsbruck

Innsbruck

Großgerät

Kurzbeschreibung

Vakuum-Pumpsystem, Sputteranlage Edwards FL400 - Auto 306
Experimentelle Anlage zur Herstellung von Dünnschichten (Variation von Substrat und Aufdampfbedingungen)

Ansprechperson

Univ.-Prof. DI Dr.techn. Roman Lackner

Research Services

Nach Rücksprache mit der zuständigen Kontaktperson

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Experimentelle Anlage zur Herstellung von Dünnschichten (Variation von Substrat und Aufdampfbedingungen)

Zuordnung zur Core Facility

Core Facility "NanoLab Innsbruck"

Univ.-Prof. DI Dr.techn. Roman Lackner
Institut für Konstruktion und Materialwissenschaften
+43 512 507 63500
Roman.Lackner@uibk.ac.at
Nach Vereinbarung mit der zuständigen Kontaktperson