Kurzbeschreibung
Vakuum-Pumpsystem, Sputteranlage Edwards FL400 - Auto 306
Experimentelle Anlage zur Herstellung von Dünnschichten (Variation von Substrat und Aufdampfbedingungen)
Ansprechperson
Univ.-Prof. DI Dr.techn. Roman Lackner
Research Services
Nach Rücksprache mit der zuständigen Kontaktperson
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Experimentelle Anlage zur Herstellung von Dünnschichten (Variation von Substrat und Aufdampfbedingungen)
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
Nach Vereinbarung mit der zuständigen Kontaktperson