Kurzbeschreibung
Das Zentrum bietet Geräte für Mikrophotolumineszenzspektroskopie, Quantenoptik und thermischen Transport in nanoskaligen Halbleitern.
Ansprechperson
Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli
Research Services
Zentrum für Halbleiter Nanostrukturen
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Das Zentrum beeinhaltet zwei optische Aufbauten, welche für Mikrophotolumineszenzspektroskopie und Quantenoptik benutzt werden, sowie Geräte für die Vermessung der thermischen Leitfähigkeit dünner Schichten.
Equipment
- Röntgendiffraktometer
- Aufdampfanlage für Metalle und Halbleiter
- Atomic Layer Deposition System Savannah 100
- Magnetkryostat
- Ti-Sa gepulstes Lasersystem
- Double Spectrometer
- Elektronenstrahl-Lithographie-Anlage: Raith eLine plus
- III-V Molekularstrahlepitaxie-Anlage
- Reinraum im LIT Open Innovation Center
- Lithografiegerät Mask-Aligner
- Trockenätzanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma
- Gerät für maskenlose Photolithographie
Die Nutzungsbedingungen für das Gerät sind zu vereinbaren. Informationen und Kontaktdaten finden Sie auf der JKU Webseite unter https://www.jku.at/hfp/
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