Kurzbeschreibung
LED-basiertes maskenloses Lithographiesystem
Ansprechperson
Univ.-Prof. Dr. Armando Rastelli
Research Services
Optische Lithographie mit selbsthergestelleten Masken
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Herstellung von Prototyp-Bauteilen mit einer Strukturgröße von bis zu 1 Mikron
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
Nach Rücksprache