Kurzbeschreibung
Das "Quanta 250 FEG" ist ein hochauflösendes analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop für Abbildung mittels Sekundär- und Rückstreu-Elektronen sowie im Raster-Transmissionsmodus (STEM). Die Beschleunigungsspannung können von 30 kV bis zu einigen 100 V (durch Beam Decelleration) variiert werden.
Das Gerät ist mit einem SDD Röntgendetektor sowie einer schnellen Hikari EBSD Kamera für Strukturanalyse durch Electron Backscatter Diffraction (EBSD) und Transmission Kikuchi Diffraction (TKD) ausgestattet.
Untersuchungen können im Hochvakuum, Low-Vakuum-Modus und ESEM Modus (bis 40 mbar z.B. zur Beobachtung von Flüssigkeiten) durchgeführt werden.
Zusatzgeräte:
- Heating-Stage bis 1000 °C und Peltier-Stage
- Nanomanipulatoren mit Low Current Measurement Kit und Kraftmess-Sensoren
- In-situ AFM Modul "AFSEM" (AFM Untersuchung, Imaging und chemische Analyse in einem Gerät)
- Pikoindenter-System Hysitron
Ansprechperson
Ass.Prof.Dipl.Ing.Dr. Johannes Bernardi
Research Services
Die Forschungs-Facility USTEM ist die zentrale Einrichtung der TU Wien für analytische und hochauflösende elektronenmikroskopische Untersuchungen. USTEM unterstützt Angehörige der TU Wien oder von anderen Forschungseinrichtungen bei der Durchführung von Projekten im Rahmen der Forschungsförderung oder Auftragsforschung und bietet Dienstleistungen für Firmen oder externen Kunden mit Operatorunterstützung. Die Schwerpunkte von USTEM sind Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Rasterelektronenmikroskopie (SEM) und Focused Ion Beam (FIB) Anwendungen.
Spezielle Services an dem Quanta 250 FEG:
- Hochauflösende rasterelektronenmikroskopische Untersuchungen von Oberflächen oder Querschnitten
- chemische Röntgenmikroanalyse
- Strukturuntersuchungen mit EBSD
- Untersuchung von nichtleitenden Proben im Niedervakuumbereich
- Untersuchung von feuchten Proben bei Drücken bis 4000 Pa
- in-situ AFM Untersuchungen
- Pikoindenter Messungen
Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur
Hochauflösende rasterelektronenmikroskopische Untersuchung; chemische Röntgenmikroanalyse; Strukturuntersuchungen mit EBSD; Untersuchung von nichtleitenden Proben im Niedervakuumbereich; Untersuchung von feuchten Proben bei Drücken bis 4000 Pa
Zuordnung zur Forschungsinfrastruktur
BonAgro GmbH
CERN
GILDEMEISTER energy solutions GmbH
Vienna Biocenter Core Facilities GmbH (VBCF)
Carinthian Tech Research AG
EVVA Sicherheitstechnologie GmbH
ON Semiconductor (Formerly Fairchild)
mfTEC Fasching KG
CB Feuerfest GmbH
Gabriel-Chemie GmbH
Habich GmbH
Universität Wien, Institut für Hochenergiephysik
IMS Nanofabrication AG
Leica Mikrosysteme GmbH ??
Münze Österreich AG
Fried.v.Neuman GmbH
DI Arno Rettensteiner, Zivilingenieur für Technische Chemie
STRABAG AG
Trenka GmbH
Universität Wien
Veterinärmedizinische Universität Wien
Xilicate GmbH
Medizinische Universität Wien, Univ. Zahnkliniken Wien
Universität Innsbruck
Mechanism of rare earth incorporation and crystal growth of rare earth containing type-I clathrates. (2016). Prokofiev, A., Svagera, R., Waas, M., Weil, M., Bernardi, J., & Paschen, S. Crystal Growth and Design, 16(1), 25-33. doi:10.1021/acs.cgd.5b00461
Microstructural investigation of interfacial features in al wire bonds. (2012). Khatibi, G., Weiss, B., Bernardi, J., & Schwarz, S. Journal of Electronic Materials, 41(12), 3436-3446. doi:10.1007/s11664-012-2215-2