Reinraumlabor Klasse 5

Silicon Austria Labs GmbH (SAL)

Villach | Website

Räumliche Forschungsinfrastruktur

Kurzbeschreibung

Reinraum Klasse 5 (EN ISO 14644-1)

Reinheitsgrad: max. Partikelanzahl 29; Größe ≥ 5,0 µm und 832 Partikel ≥ 1,0 µm pro Kubikmeter Luft
Luftumwälzung Primärluft: h-1: 9
Luftwechsel Umluft: h-1: 120
Temperatur (+/- 1K): 22 °C
Feuchte (+/-5%): rF%: 50 %

Ansprechperson

DI Heimo Müller

Research Services

Sensor element / material Analysis, micro-electro-mechanical-systems, acoustic MEMS, photonic MEMS, Heterogeneous Integration Technologies (HIT), 3D-Integration, Chip-Bonding

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Mikro- Nanostrukturen, Machbarkeitsstudien, Tests, Chipbonding, Simulationen

Die Nutzer werden von technisch-/wissenschaftlichem Personal an der Forschungsinfrastruktur unterstützt.

Zuordnung zur Core Facility

Silicon Austria Labs GmbH

DI Heimo Müller
Business Development
heimo.mueller@silicon-austria.com
https://silicon-austria-labs.com

Dr. Mohssen Moridi
Head of Research Unit Microsystem Technologies
mohssen.moridi@silicon-austria.com
Die Nutzer werden von technisch-/wissenschaftlichem Personal an der Forschungsinfrastruktur unterstützt.

Es gelten die AGB der SAL https://silicon-austria-labs.com/agb/