Reinraumlabor Klasse 5

CTR Carinthian Tech Research

Villach | Website

Räumliche Forschungsinfrastruktur

Kurzbeschreibung

Reinraum Klasse 5 (EN ISO 14644-1)

Reinheitsgrad: max. Partikelanzahl 29; Größe ≥ 5,0 µm und 832 Partikel ≥ 1,0 µm pro Kubikmeter Luft
Luftumwälzung Primärluft: h-1: 9
Luftwechsel Umluft: h-1: 120
Temperatur (+/- 1K): 22 °C
Feuchte (+/-5%): rF%: 50 %

Ansprechperson

Dr. Werner Scherf

Research Services

Sensor element / material Analysis, micro-electro-mechanical-systems, acoustic MEMS, photonic MEMS, Heterogeneous Integration Technologies (HIT), 3D-Integration, Chip-Bonding

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Mikro- Nanostrukturen, Machbarkeitsstudien, Tests, Chipbonding, Simulationen

Die Nutzer werden von technisch-/wissenschaftlichem Personal an der Forschungsinfrastruktur unterstützt.

Zuordnung zur Core Facility

CTR Carinthian Tech Research

Dr. Werner Scherf
0043-4242-56300
info@ctr.at
http://www.ctr.at
Die Nutzer werden von technisch-/wissenschaftlichem Personal an der Forschungsinfrastruktur unterstützt.

Es gelten die AGB der CTR http://www.ctr.at/agb