Waferprober Hochfrequenz Messungen

Technische Universität Graz (TU Graz)

Graz | Website

Großgerät

Kurzbeschreibung

Waferprober (Nadelspitzenmessplatz)

Ansprechperson

Prof. Wolfgang Bösch

Research Services

Vollautomatische On-Wafer Messungen, temperatur-, feuchtigkeits- und partikelkontrollierter Reinraum, Hochfrequenzmessungen, S-Parameter, DC bis 110GHz, Temperaturkammer -40degC bis 160degC, Wafer-Mapping, integrierter Laser-Cutter.

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Vollautomatische Hochfrequenzmessungen an Wafern und integrierten Schaltungen.

Prof. Wolfgang Bösch
Inst. f. Hochfrequenztechnik
wbosch@tugraz.at
Die Nutzungsbedingungen für das Gerät sind zu vereinbaren. Weitere Informationen finden Sie unter http://ihf.tugraz.at