MATERIALS - Reinraum der Klasse 6 für Nanostrukturen, sowie neuartige elektronische Bauelemente und Sensoren - zertifiziert gemäß ISO 14644

JOANNEUM RESEARCH Forschungsgesellschaft mbH

Weiz | Website

Räumliche Forschungsinfrastruktur

Kurzbeschreibung

Reinheitsgrad: max. 35.200 Partikel pro Kubikmeter, Größe ≥ 0,5 µm und max. 8.320 Partikel, Größe ≥ 1 µm pro Kubikmeter und max. 293 Partikel ≥ 5 µm
• Luftwechsel Primärluft: 12faches Raumvolumen / h
• Luftumwälzung über FFUs: 40 – 60faches Raumvolumen / h
• Temperatur (+/- 1K): 23 °C
• Feuchte (+/-5%): rf%: 50 %

Ansprechperson

MATERIALS - DI Dr. Paul Hartmann

Research Services

Mikro-Nanostrukturen, Mastering, Analytik, Machbarkeitsstudien, Mikroelektronik Versuchsreihen bis 6 Zoll

Methoden & Expertise zur Forschungsinfrastruktur

Modernste Ausstattung und Forschungsinfrastruktur kombiniert mit der Expertise von hoch qualifizierten wissenschaftlichen Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter ermöglichen zukunftsweisende Forschungsarbeiten, Problemlösungen und wissenschaftliche Dienstleistungen, die auf die Anforderungen der Wirtschaft und Industrie abgestimmt sind. Beispielsweise werden folgende Methoden angeboten:
• Nanoimprint-Lithografie im Batchprozess (bis 4 x 4 inch²) unter Reinraumbedingungen (UV-NIL und Hot-Embossing NIL)
• Elektronenstrahl-Lithografie
• Photo-Lithografie
• Reaktives Ionenätzen (RIE) O2/Ar/N2/SF6/CFu
• Oberflächenmodifikation mittel O2/N2/H2O/NH3-Plasma, UV /Ozon-Behandlung oder Primer-Beschichtung
• Modulare Pilotanlage inkl. Glovebox-Cluster
• Oberflächenmorphologie mittels Rasterelektronenmikrospkopie (SEM) oder Rasterkraftmikroskopie (AFM) inkl. EFM-, KPFM- und MFM-Methodik

Zuordnung zur Core Facility

MATERIALS - Core Facility Weiz

JOANNEUM RESEARCH Forschungsgesellschaft mbH
MATERIALS - DI Dr. Paul Hartmann
+43 316 876-3000
materials@joanneum.at
https://www.joanneum.at/materials.html
https://www.joanneum.at/index.php?id=302
Nutzungsbedingungen werden individuell vereinbart.