Short Description
Das Laser-Lithographie System ist im Reinraum des Instituts für Experimentalphysik, dem Quanten Nano Zentrum Tirol, an der Uni Innsbruck untergebracht. Das System wird zur maskenlosen optischen Lithographie verwendet. Dieser Laserschreiber kann eine Fläche von 35mm² pro Minute belichten und hat eine minimale Auflösung von < 1µm. Das System hat eine eingebaute Kamera zur Markenerkennung und verwendet eine 405nm Diode zum Belichten.
Contact Person
Prof. Gerhard Kirchmair
Research Services
Bei Interesse an der Nutzung diese Geräts bitte kontaktieren Sie mich direkt unter gerhard.kirchmair@uibk.ac.at.
Methods & Expertise for Research Infrastructure
Das System ist eines von zwei Lithographie Systemen im Quanten Nano Zentrum Tirol an der Universität Innsbruck. Neben dem elektronenstrahl Schreiber wird dieses Gerät zum Herstellen von Mikrostrukturen verwendet. Unter anderem werden damit Co-planar Wellenleiter und Mikro-strukturiert Ionenfallen hergestellt. Das Geräte wurde vor wenigen Monaten installiert und im Moment werden gerade die notwendigen Methoden zur lithographie entwickelt.