Femtosekundenlaser mit Rasterelektronenmikroskop

Austrian Academy of Sciences (ÖAW)

Leoben | Website

Large equipment

Short Description

Der Femtosekundenlaser wird für die lokale Materialbearbeitung eingesetzt. Damit können lokale 3D Strukturanalysen oder mikromechanische Proben bis in den Mikrometerbereich hergestellt werden. Der Femtosekundenlaser ist an ein Rasterelektronenmikroskop gekoppelt. Damit kann die Präparation und Strukturanalyse an einem einzigen Gerät durchgeführt werden.

Contact Person

Manuel Pfeifenberger

Research Services

Research Services nach Vereinbarung.

Methods & Expertise for Research Infrastructure

Femtosekundenlaserbeareitung ermöglicht einen extrem schonenden Materialabtrag. Die Materialbeeinflussung sollte sich auf Nanometertiefe beschränken. Die Materialschädigung sollte kleiner oder vergleichbar mit der üblichen Ionenbearbeitung sein. Zum Vergleich mit einer FIB ist jedoch der Materialabtrag um mehrere Zehnerpotenzen höher. Verwendet wird der Femtosekundenlaser am Institut für Mikroprobenfertigung und für die Grobbearbeitung für die genaue FIB-Präparation.

Manuel Pfeifenberger
Erich Schmid Institut
03842/804-313
manuel.pfeifenberger@oeaw.ac.at
http://esi.oeaw.ac.at
Das Gerät wird fast ausschließlich für institutsinterne Arbeiten verwendet.
Lehrstuhl für Materialphysik der Montanuniversität Leoben