University of Innsbruck
Innsbruck
Large equipment
Short Description
Flexible Plasmaätzmaschine für nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen
Contact Person
Prof. Gerhard Kirchmair
Research Services
nanoskopische elektronischer und optischer Schaltungen
Methods & Expertise for Research Infrastructure
Flexible Plasmaätzmaschine für nanoskopische, elektronische und optische Schaltungen
Die Bedingungen für die Nutzung durch externe Parteien werden im Moment gerade diskutiert und festgelegt.