Rasterelektronenmikroskop - Ionenstrahlgerät FEI Quanta 3D FEG

University of Vienna

Wien | Website

Open for Collaboration

Short Description

Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop mit integrierter Ionensäule; ausgestattet mit SE, BSE, STEM Detektoren sowie mit energiedispersiver Elementanalytik und EBSD System zur Messung von Kristallorientierungen. Geeignet für elektronenoptische Aufnahmen mit 10 nm Auflösung sowie zur Materialbearbeitung mit sub µm Präzision.

Contact Person

Rainer Abart

Research Services

Das Zweistrahlgerät kombiniert ein Feldemissions-Kathoden SEM für hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie mit einem FIB-Gerät für Ionenstrahl-Materialbearbeitung zur Erstellung von Querschnitten, Serienschnitten und elektronentransparenten Lamellen. Neben der semiquantitativen mineralchemischen Analytik mittels EDX, ermöglicht die EBSD-Kamera die Abbildung von kristallographischen Orientierungen an hochpolierten Oberflächen.

Das FEG-SEM-FIB Gerät soll vorwiegend die Forschungsinteressen am EWZ und an den assoziierten Subeinheiten bedienen und wird auch zur Ausbildung in einschlägigen analytischen Methoden auf MSc und PhD Niveau herangezogen.

Methods & Expertise for Research Infrastructure

Rasterelektronenmikroskopie
Elementanalytik EDX
Kristallorientierungsanalytik EBSD
STEM
Ionenstrahlbearbeitung
3D Rekonstruktion
TEM Folien Extraktion

Terms of Use

Alle Nutzer/innen des FIB-SEM Labors haben Benützungsgebühren zu leisten, die ausschliesslich der Abdeckung der laufenden Betriebskosten (Verbrauchsmaterial und Reparaturen) für das Quanta 3D FEG dienen. Benützungsgebühren sind nur für die Nutzung durch Mitarbeiter der Universität Wien und deren Kooperationspartner zur Bedienung der hausinternen wissenschaftlichen Forschung gültig. Für Nutzer/innen ausserhalb der Geowissenschaften der Universität Wien werden zusätzlich zu den Benützungsgebühren 20% Overheads in Rechnung gestellt.

Die Nutzungsgebühren werden jährlich angepasst