18 Forschungsinfrastrukturen / Open for Collaboration
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- Großgerät
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- Räumliche Forschungsinfrastruktur
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- Core Facility (CF)
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Silicon Austria Labs GmbH (SAL)
Spezielles EBS-Validation-Labor für: - Prototyping und Testen von elektronikbasierten Systemen - Programmierung und Testen neuer,...
Silicon Austria Labs GmbH (SAL)
Reinraum Klasse 5 (EN ISO 14644-1), 300 m² • Mikro- und Nanofabrikation: M(O)EMS, RF-Filter, integrierte...
Silicon Austria Labs GmbH (SAL)
Der Cleanroom II (Teil der SAL MicroFab in Villach) ist für 200-mm-Wafer ausgelegt und kann...
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5G-Testbed for industrial equipment via wireless connections.
Silicon Austria Labs GmbH (SAL)
Thin-film deposition tool with manual loading of single wafers up to 200mm.
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Magnetron sputtering clustertool for various thin film single and multilayers on 200 mm wafers.
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The PANalytical X’Pert Pro is a multipurpose x-ray diffractometer equipped with a Cu Kα source....
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Oxford Instruments' PlasmaPro®100 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition) is a versatile instrument that can...
Silicon Austria Labs GmbH (SAL)
Multiple purpose versatile etching tool for WBG materials and metal etching.
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Bosch dry etching Tool. 8“ wafers etch with ESC clamping. 6“ and 4” wafers with...