Elektronenstrahl-Lithographie

University of Graz

Graz

Large equipment

Short Description

Elektronenstrahl-Lithographiesystem RAITH eLine plus

Contact Person

Joachim Krenn

Research Services

Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.

Methods & Expertise for Research Infrastructure

Fertigung von Nanostrukturen mit kleinsten Strukturgrößen von ca. 10 nm. Forschungsschwerpunkt auf optische und elektronische Eigenschaften von Nanostrukturen.

Joachim Krenn
Naturwissenschaftliche Fakultät, Insitut für Physik
03163805207
joachim.krenn@uni-graz.at
Nach Rücksprache mit dem Institut für Physik, Universität Graz.