JKU - Johannes Kepler University Linz
Linz | Website
Large equipment
Short Description
System for optical lithography of structures with sizes doen to 500 nm
Contact Person
Prof. Dr. Thomas Fromherz
Research Services
Optical lithography
Methods & Expertise for Research Infrastructure
Optical lithography for metallization and etching
Allocation to Core Facility
Prof. Dr. Thomas Fromherz
Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik, Abteilung für Halbleiterphysik
+43 732 2468 9601
thomas.fromherz@jku.at
http://www.jku.at/hfp/
Institut für Halbleiter- und Festkörperphysik, Abteilung für Halbleiterphysik
+43 732 2468 9601
thomas.fromherz@jku.at
http://www.jku.at/hfp/
Please contact the responsible person, Prof. Dr. Thomas Fromherz