Semi-automatischer Waferprober

University of Innsbruck

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Short Description

Das Gerät ist ein semiautomatischer Wafer-Prober CM 300 der Fa. Cascade Microtech. Mit seiner Hilfe ist die Messung integrierter Schaltungen möglich. Hierbei können sowohl einzelne gesägte ICs als auch komplette 200mm oder 300mm Wafer vermessen werden. Zusätzlich zum Wafer-Prober stehen eine Vielzahl weitere Messgeräte zur Verfügung. Dazu zählen u.a. Logikanalysator, Source-Measure-Units, Spektrum- und Netzwerkanalysatoren wie auch NF und HF Signalgeneratoren.

Contact Person

Univ.-Prof. Dr. Thomas Ußmüller

Research Services

Vollautomatische On-Wafer Messungen einzelner Dice, kompletter 200 oder 300mm Wafer; Messung über Temperatur (aktuell von Raumtemperatur bis 200°)

Methods & Expertise for Research Infrastructure

Automatische Messungen an Wafern und integrierten Schaltungen, Erstellung einer Wafermap

Univ.-Prof. Dr. Thomas Ußmüller
Institut für Mechatronik
+43 512 507 62730
thomas.ussmueller@uibk.ac.at
http://www.uibk.ac.at/mechatronik/
Die Nutzungsbedingungen für das Gerät sind zu vereinbaren.