Beschichtungsanlage/Vakuum-Pumpsystem - NanoLab Innsbruck

University of Innsbruck

Innsbruck

Large equipment

Short Description

Vakuum-Pumpsystem, Sputteranlage Edwards FL400 - Auto 306
Experimentelle Anlage zur Herstellung von Dünnschichten (Variation von Substrat und Aufdampfbedingungen)

Contact Person

Univ.-Prof. DI Dr.techn. Roman Lackner

Research Services

Nach Rücksprache mit der zuständigen Kontaktperson

Methods & Expertise for Research Infrastructure

Experimentelle Anlage zur Herstellung von Dünnschichten (Variation von Substrat und Aufdampfbedingungen)

Allocation to Core Facility

Core Facility "NanoLab Innsbruck"

Univ.-Prof. DI Dr.techn. Roman Lackner
Institut für Konstruktion und Materialwissenschaften
+43 512 507 63500
Roman.Lackner@uibk.ac.at
Nach Vereinbarung mit der zuständigen Kontaktperson