Silicon Austria Labs GmbH (SAL)
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Bosch dry etching Tool. 8“ wafers etch with ESC clamping. 6“ and 4” wafers with...
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Multiple purpose versatile etching tool for WBG materials and metal etching.
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The PANalytical X’Pert Pro is a multipurpose x-ray diffractometer equipped with a Cu Kα source....
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Oxford Instruments' PlasmaPro®100 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition) is a versatile instrument that can...
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Thin-film deposition tool with manual loading of single wafers up to 200mm.
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The SmartView NT automated bond alignment system for universal alignment offers a proprietary method for...
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Bond alignment system for universal alignment with proprietary method for micron-level face-to-face wafer alignment.
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Die am Institut vorhandene, modular und redundant realisierte Spezialrobotik ermöglicht die Beforschung zukunftsträchtiger Mechanismen und...
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Zur Kalibrierung der komplexen Robotersysteme und der sicherheitstechnischen Verifikation von innovativen Robotik-Lösungen stehen am Institut...
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Exemplarische Industrieroboter bilden die Basis für innovative industrielle Robotik an der Schnittstelle zwischen klassischer industrieller...
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Im Jahr 2020 wurden 212 Briefe von Karl und Hennie Popper an Bryan Magee angekauft....